摘要：  理想能源最新推出了在线式PECVD设备，可适用于异质节晶体硅太阳能电池的生产或研发，其稳定、可靠的特性尤其适用于高质量异质节晶体硅电池的生产。和传统设备相比其具有诸多优势。

关键字：  理想能源，PECVD，晶体硅，太阳能电池

理想能源最新推出了在线式PECVD设备，可适用于异质节晶体硅太阳能电池的生产或研发，其稳定、可靠的特性尤其适用于高质量异质节晶体硅电池的生产。和传统设备相比其具有诸多优势。

在线式PECVD设备具有如下优势：

1.创新的在线式镶嵌式沉积腔设计：在保证薄膜高质量、高重复性、高均一性、低损伤的同时，实现高产能(单腔在线设备产能>1200片/小时);

2.可叠层的产能倍增设计：为适应客户高产能要求，可实现在线式多层叠加沉积腔设计，产能亦可根据反应腔层数实现倍增;

3.甚高频技术(VHF：40MHz)：甚高频技术能够有效降低等离子对基片表面的损伤;

4.优化的曲面电极与电介质层：解决了引入甚高频技术所带来的驻波效应和边缘效应的问题，使设备在低功率密度下依然保持均匀的电场分布，保证了非晶硅薄膜的低速、均匀、高质量生长;

5.无移动元器件等离子体射频功率匹配系统：传统的射频系统匹配时间约 1-3 秒，其过程具有不确定性。而我司自主研发的无移动元器件等离子体射频系统匹配时间≤0.5 秒，特别适用于高质量异质节晶体硅电池对界面钝化过程重复、稳定、可靠性高的要求;

6.镶嵌式沉积腔设计：沉积腔镶嵌在真空腔内，上下基板均有独立的加热和冷却系统，使得沉积腔环境清洁、温度均匀性高。

理想能源设备(上海)有限公司致力于开发和大规模生产太阳能电池制造设备，为薄膜太阳能电池制造商提供性能最先进、价格最具竞争力、配置灵活的高端制造设备和生产线解决方案服务。公司由20多名20年以上从业经验的国际化的团队管理，成员均曾任职于国际知名半导体设备制造企业，专业齐全、经验丰富、长于创新、精于管理。

公司业已投入量产的非晶/微晶叠层硅基薄膜太阳能电池制造设备：低压化学气相沉积(LPCVD)设备和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备稳定可靠、性能优异、产能领先。经过内部马拉松试验和客户生产线上的验证，设备的各项指标都达到了世界先进水平。