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磁控溅射制备ZnO压敏电阻电极

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  • 更新日期:2024-05-14 17:11
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详细介绍
磁控溅射是近年来得到广泛应用的成膜方法,相比于目前电压敏行业中广泛采用的烧银电极,溅射膜电极具有膜层致密,厚度均匀,附着性强等优点。溅射膜电极不管从生产工艺上还是膜层质量上,都显现出传统的烧银电极不可比较的优越性,采用磁控溅射制备ZnO压敏电阻电极,将是今后陶瓷金属化的主流技术。

ZnO压敏电阻的电极制备对欧姆接触、焊接性、可靠性等性能有重要的影响,是制造高性能压敏电阻必须解决的关键问题之一。溅射是近年来得到广泛应用的成膜方法,相比于目前电压敏行业中广泛采用的烧银电极,溅射膜电极不仅制备过程绿色环保,成本低廉,而且具有膜层致密,厚度均匀,附着性强等优点,溅射膜电极不管从生产工艺上还是膜层质量上,都显现出传统的烧银电极不可比较的优越性,毫无疑问,采用溅射膜电极是今后陶瓷金属化的主流技术。

三组样品的平均抗拉强度

 

 

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