近日，国家知识产权局专利复审委否决了Veeco上海关于中微半导体专利无效的申请，中微在这次专利对决中获得的胜利，可以说是对Veeco的一次反击，但我们假如回顾国内外设备厂商多年来的交锋，就会发现其中的波云诡谲，国内设备厂商的发展之路依然任重道远。

国外设备企业联合夹击

此次事件中的两位主角都是MOCVD厂商，而国内外MOCVD厂商的对决多年来一直没有停息过。

MOCVD设备一直都是生产LED外延芯片的关键设备。由于技术含量高，MOCVD设备站在了LED行业价值链的顶端，MOCVD设备是专利技术密集型产业，而其核心技术大多掌握在美国Veeco和德国Aixtron等国外企业手中，并且多年以来这两家企业占领了全球90%以上的MOCVD设备市场，其技术水平、规模效应、品牌效应、客户资源等都达到了相当的高度。

Veeco和Aixtron在知识产权及其全球专利组合方面的保护一直十分坚决，这让后续进入这一领域的国产MOCVD厂商寸步难行，要突破专利技术封锁，建立自主创新的国产MOCVD核心技术并非易事。据了解，2016年国产MOCVD设备在国内市占率合计仅11%。

他们利用专利优势来绞杀国产MOCVD设备商的发展，从而导致了十几年来国内20多家陆续从事MOCVD的企业目前只剩下中微和中晟两家。

国产设备企业倔强发展

虽然一直面对Veeco和Aixtron的共同绞杀，但中微和中晟两家依然坚挺不屈。特别是近年来国产化的大力推进，国产MOCVD设备开始赢得了国内LED芯片厂商的认可，尤其是中微半导体，其MOCVD出货量已突破100台，华灿光电和三安光电是其最大客户。目前，华灿光电对其采购量达到40台，已获交付34台。

国际设备厂商在中国市场的份额逐渐被国产设备挤压，并且在技术上也逐渐被国内设备厂商赶上。此前三安光电向Aixtron采购50台腔LED主要生产设备CCS MOCVD SYSTEM AIX R6，最后由于不能完全满足三安工艺需求而终止采购。如今Aixtron已经基本失去了竞争优势，甚至在2016年，中国资本一度对Aixtron发起过收购，Aixtron的产品基本上已经出局，形成了国产设备只与Veeco产品竞争的有利格局。

如今中微和中晟两家企业在专利技术上每年都不断投入，比如中微。中微有一半以上的员工从事研发工作，而通过十年的发展和积累，中微已经申请了几百余项国内外专利，涉及MOCVD的专利已超过百项，其中大部分专利已被授权。

专利技术上的突破使得国内MOCVD供应商不断缩小与Veeco产品的技术差距，并依靠更好的性价比和更便利的售后服务逐渐得到客户的认可，已经威胁到Veeco在中国市场的领先地位，导致其连续多年亏损和市场占有率的减少。

新的对决:限制上游原材料

面对国内厂商的强势崛起，Veeco针对中微发起了新的“进攻”。

2017年4月，Veeco在美国纽约州法院正式起诉石墨托盘制造商SGL，指控其侵犯了Veeco的四项专利，涵盖设备主体结构和托盘的全面设计保护，要求其停止销售并赔偿巨额损失。

石墨托盘是MOCVD设备最重要的消耗性部件，与设备腔体设计密切关联，且使用寿命仅1-2个月，未来如无供应，将导致机台停产，极大影响产能。由于托盘表面镀膜工艺复杂，目前仅有德国SGL、日本东洋碳素和荷兰Xycarb三家能够供货。而国内设备厂商不管是中微半导体还是中晟光电，所使用的石墨盘全部来自国外供应商，而中微的石墨盘供应商恰好是德国SGL。

11月2日，Veeco宣布，美国纽约东区地方法院同意了Veeco公司针对SGL的一项初步禁令请求，该禁令禁止SGL出售供采用了Veeco专利技术的MOCVD使用的晶圆承载器，包括专为AMECMOCVD系统设计的晶圆承载器。并且除了临时禁令之外，Veeco正在寻求永久性禁令以及经济赔偿等。

如果这项禁令最终落地的话，就意味着中微的设备将没有最关键的石墨托盘使用，机器将无法正常运转，损失巨大。

中微积极应战

如今LED产业几乎全部集中在中国，LED产业链的每个环节都不愿意放弃中国市场，而MOCVD作为核心设备，MOCVD厂商必然更加对市场锱铢必较、分寸不让，这时候不仅Veeco招数尽出，中微自然更加不能退让。

中微迅速回应了Veeco的这一举措。在11月22日午间，中微半导体携华灿光电召开交流电话会议，会上中微半导体表达了将会正面面对Veeco诉讼的态度，其表示，中微半导体在过去十年中也从未在专利上输过官司，而此次SGL供应给公司的石墨盘并未侵犯Veeco的专利。

中微说到做到，早在今年7月，中微就向福建高院正式起诉“Veeco上海”，指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。

在中微起诉后，Veeco上海对该涉案的中微专利向专利复审委提起无效宣告请求，近日专利复审委最终做出了审查决定，判定中微专利为有效专利。这次诉讼的胜利，被认为是中微和Veeco这次对决中阶段性的关键胜利，未来中微还需要继续跟进石墨托盘供应商德国SGL的问题。

而中微也表示将在三个方面推动解决上述问题：一是积极发展第二和第三渠道的供应商，预计一个月即可完成产品验证，两三个月即可解决批量问题，春节前即可恢复对客户的石墨盘供应;二是SGL已在美国提起反诉，预计很快将取得进展;三是针对专利方面，公司已在中国对Veeco提起专利侵权诉讼。