通过样品在液晶(Liquid Cristal)和荧光微型热成像（FMI）的图像，分析产品内部的失效情况。 应用: Gen5 C-SAM型声学显微镜是新一代声学显微成像（ AMI ）的创新。它具有尖端技术，先进的功能，并改善了人机工程学， 将声学显微成像提高到新高度。Gen5具有广泛的用途。无论是倒装芯片或晶圆的无损失效分析，工艺程序，研发，高可靠性军事应用，或者筛选智能卡， Gen5都可以满足您所有的需求。 主要特征： 1. 虚拟二次扫描模式：收集并以数字形式储存广泛的声学数据 从而可以执行完整的样品分析，即使在没有可用样品的情况下，也能进行分析。 2. TurboSpeed在高频率下可提供较快成像速度， 在高像素密度下，图像采集速度可增加2.5X。 3. 数字图像分析器 (DIA) 采用先进算法， 量化接口数据，并帮助建立精确和自动的接受/拒收标准。 4. ESD安全配备清洁室。 5. 开放式扫描区，方便装卸测试样品， 能够检测JEDEC的2托盘或者300mm晶圆。 6. 惯性平稳扫描装置不仅能减少振动 并且能够确保最佳的扫描结果 7. 多语言操作系统和视觉声学接口。
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