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真空泵抽速范围：200 l/s to 3500 l/s
本地及全球支持
拥有UL和CE证书
占地面积小
灵巧轻便的控制器
非接触磁悬浮结构
应用
干法腐蚀，CD（化学汽相淀积），PVD（物理汽相淀积），离子注入，MBE（分子束外延），光刻，晶片检验，表面分析，进样室，溅射，质谱，电子显微镜，高能物理（束线，加速器），迴旋加速器，玻璃镀膜，等离子镀膜，研究和发展。
特性与优势
最新的转子设计提高了性能，可以实现卓越的抽速和压缩比
最终用户可以在极短的时间内完成彻底的维修，无需复杂的工具或大卸...您就可以完成！
设计紧凑，性能卓越，可以实现高效系统化
与Edwards TIC涡轮和仪器控制器兼容意味着您可以添加多达3个真空计而不需要额外的真空计控制器
符合RoHS并获得CSA/UL认可
技术数据
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入口法兰 |
DN100ISO-K，DN100CF |
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出口法兰 |
DN25NW |
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抽速 |
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N2 |
300 ls-1 |
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He |
340 ls-1 |
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H2 |
280 ls-1 |
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压缩比 |
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N2 |
>1 × 1011 |
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He |
1 x 106 |
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H2 |
5 x 104 |
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针对RV前级泵ISO/CF的极限压力 |
<6 x 10-8/<5 x 10-10mbar |
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推荐前级泵* |
RV12/nXDS10i |
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排气口 |
1/8英寸BSP母头 |
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吹扫口 |
1/8英寸BSP母头 |
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最大连续入口流量（氮气）† |
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水冷却（15°C的水，40°C的环境温度） |
95 sccm |
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强制空气冷却，35°C环境温度 |
115 sccm |
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泵旋转速度 |
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标称旋转速度 |
60000 rpm |
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待机旋转速度 |
可在33000至60000 rpm之间变化（默认为42000 |
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可编程功率限制设置 |
可在50至200W之间变化（默认为160W） |
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到90%速度的启动时间 |
145s‡ |
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模拟输出 |
泵旋转速度； |
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冷却方法# |
强制空气/水 |
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强制空气冷却的环境空气温度 |
5 - 35°C |
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最小冷却水流速（15°C的水） |
15 l h-1 |
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水温范围 |
10 - 20°C |
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最高入口法兰温度 |
80°C |
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操作姿态 |
垂直且竖直，直到 |
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1米处的噪音级别 |
<45 dB(A) |
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泵可以承受的最大磁场 |
5 mT |
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推荐控制器 |
TIC200分子泵和仪器控制器 |
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静止电功率 |
通常为20W |
1.根据应用可使用较小的前级泵。也可使用极限压力小于5 mbar的适用隔膜泵，例如XDD1。
2.在此入口压力之上，旋转速度会降至低于标称速度。
3.功率限制设置为160 W。
4.空气和水冷却附件须单独订购
