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型号
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连接法兰
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抽速 l/s
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极限真空 mbar
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前级泵抽速 m3/h
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MVP 015
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MVP 040
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MVP 070
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DUO 2.5
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DUO 5
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ACP 15
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ACP 28
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ACP 40
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Hicube 80
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63
|
67
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<1.10-7
|
0.9
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2.3
|
3.8
|
2.5
|
5
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|||
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Hicube 300
|
100
|
260
|
<1.10-7
|
2.3
|
3.8
|
2.5
|
5
|
14
|
|||
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Hicube 400
|
100
|
355
|
<1.10-7
|
14
|
27
|
37
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Hicube 700
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160
|
685
|
<1.10-7
|
27
|
37
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Hicube TM泵组优点：
1. 涡轮分子泵和前级泵的完美结合；适合多种应用需求
2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求
3. 各部件配合简便，易于保养维修
4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统
5. “即插即用”-无需布线和安装
6. 结构坚固，服务寿命长，可靠性高
7. 意外断电时，前级真空安全阀（可选）可保护真空腔体免受返流影响
8. 可以直接连接真空计
